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1 件見つかりました。
- 加藤,茂樹 (カトウ,シゲキ) https://www.lib.hokudai.ac.jp/dissertations/list/?FF=4&LANG=ja&ACCN=1101601882
論文名 | 二次イオン質量・エネルギー分析法による炭化ケイ素のスパッタリング過程に関する研究 |
論文名(欧文) | |
学位授与年度 | 1982 |
学位種別/学位種類 | 1(課程博士) / 016(工学博士) |
報告番号 | 1882 |
学位授与年月日 | 1983-03-25 |
主査/副査 | 山村,俊郎 / 竹山,太郎 桐谷,道雄 佐藤,教男 諸住,高 |
所在 | |
配架番号 | |
備考 |