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1 件見つかりました。
- 盛満,和広 (モリミツ,カズヒロ) https://www.lib.hokudai.ac.jp/dissertations/list/?FF=4&LANG=ja&ACCN=2008030176
| 論文名 | CVDおよび酸化膜形成プロセスにおける縦型減圧半導体製造装置内の気体流動設計に関する研究 |
| 論文名(欧文) | |
| 学位授与年度 | 2007 |
| 学位種別／学位種類 | 1（課程博士） / 036（博士(工学)） |
| 報告番号 | 8588 |
| 学位授与年月日 | 2008-03-25 |
| 主査／副査 | 近久,武美 / 工藤,一彦 池川,昌弘 |
| 所在 | |
| 配架番号 | |
| 備考 | |
| 内容の要旨と審査の要旨 | 8588_morimitsu.pdf |