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- 清水,享 (シミズ,タカシ) https://www.lib.hokudai.ac.jp/dissertations/list/?FF=4&LANG=ja&ACCN=2008030165
論文名 | 定められた位置に放射線切断基を有するレジスト用高分子の構築 |
論文名(欧文) | Construction of Resist Polymers with Radiation-Scissile Groups at Predetermined Sites |
学位授与年度 | 2007 |
学位種別/学位種類 | 1(課程博士) / 036(博士(工学)) |
報告番号 | 8577 |
学位授与年月日 | 2008-03-25 |
主査/副査 | 市川,恒樹 / 金野,英隆 覚知,豊次 小泉,均 |
所在 | |
配架番号 | |
備考 | |
内容の要旨と審査の要旨 | 8577_shimizu.pdf |