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1 件見つかりました。

  1. 徐,萬升 (ソ,マンスン)
    2. https://www.lib.hokudai.ac.jp/dissertations/list/?FF=4&LANG=ja&ACCN=2007030385
    論文名仮想マスクモデルによるマスクレスリソグラフィに関する研究
    論文名(欧文)Study on Maskless Lithography using Virtual Mask Model
    学位授与年度2006
    学位種別／学位種類2（論文博士） / 036（博士(工学)）
    報告番号6549
    学位授与年月日2007-03-23
    主査／副査小野里,雅彦 / 山下,裕 金子,俊一 北,裕幸
    所在
    配架番号
    備考
    内容の要旨と審査の要旨6549_so.pdf