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- 佐藤,功 (サトウ,イサオ) https://www.lib.hokudai.ac.jp/dissertations/list/?FF=4&LANG=ja&ACCN=1203605715
| 論文名 | 化学増幅型レジストを用いた極微細パターン形成に関する研究 |
| 論文名(欧文) | |
| 学位授与年度 | 2000 |
| 学位種別／学位種類 | 2（論文博士） / 036（博士(工学)） |
| 報告番号 | 5715 |
| 学位授与年月日 | 2000-12-25 |
| 主査／副査 | 嶋田,志郎 / 小平,紘平 宮浦,憲夫 牧野,英司 |
| 所在 | |
| 配架番号 | |
| 備考 | |
| 内容の要旨と審査の要旨 | 5715_sato.pdf |