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1 件見つかりました。
- 鴨志田,和良 (カモシダ,カズヨシ) https://www.lib.hokudai.ac.jp/dissertations/list/?FF=4&LANG=ja&ACCN=1203605459
論文名 | スパッタ法による超LSI多層配線用AI系合金薄膜の形成技術に関する研究 |
論文名(欧文) | |
学位授与年度 | 1998 |
学位種別/学位種類 | 2(論文博士) / 036(博士(工学)) |
報告番号 | 5459 |
学位授与年月日 | 1999-03-25 |
主査/副査 | 雨宮,好仁 / 長谷川,英機 武笠,幸一 酒井,洋輔 |
所在 | |
配架番号 | |
備考 | |
内容の要旨と審査の要旨 | 5459_kamoshida.pdf |