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1 件見つかりました。
- 蘇,淳烈 (ソ,シュンヨル) https://www.lib.hokudai.ac.jp/dissertations/list/?FF=4&LANG=ja&ACCN=0000258923
| 論文名 | 四フッ化炭素(CF4)RFプラズマのモデリング - 定常状態と過渡応答 - |
| 論文名(欧文) | Modeling of Carbon Tetrafluoride(CF4)RF Plasma -Steady State and Transient Response- |
| 学位授与年度 | 2002 |
| 学位種別／学位種類 | 1（課程博士） / 036（博士(工学)） |
| 報告番号 | 6373 |
| 学位授与年月日 | 2003-03-25 |
| 主査／副査 | 酒井,洋輔 / 雨宮,好仁 本間,利久 菅原,広剛 |
| 所在 | |
| 配架番号 | |
| 備考 | |
| 内容の要旨と審査の要旨 | 6373_so.pdf |