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  1. 徐,萬升 (ソ,マンスン)
    2. https://www.lib.hokudai.ac.jp/dissertations/list/?FF=4&LANG=en&ACCN=2007030385
    Title in Japanese仮想マスクモデルによるマスクレスリソグラフィに関する研究
    Title in EnglishStudy on Maskless Lithography using Virtual Mask Model
    Year of conferral of degrees2006
    Type of degree / Kind of academic degree2（論文博士） / 036（博士(工学)）
    Report number6549
    Date of conferral of degrees2007-03-23
    The primary examiner / A deputy examiner小野里,雅彦 / 山下,裕 金子,俊一 北,裕幸
    Location
    Call number
    Comment
    Summary6549_so.pdf